| | SPARC64 V | UltraSparc III | Itanium 2 | Power4 | PA-8700 |
| АЛУ | четность + повтор | нет | нет | нет | нет |
| Регистры | четность + повтор | нет | нет | нет | нет |
| TLB | четность + исключение | четность | четность | четность | четность |
| I-кэш первого уровня | четность + исключение | четность | четность | четность | четность |
| Теги I-кэша первого уровня | дублирование + исключение | четность | четность | четность | четность |
| D-кэш первого уровня | ECC + исключение | четность | четность | четность | ECC |
| Теги D-кэша первого уровня | дублирование + исключение | четность | четность | четность | дублирование |
| D-кэш второго уровня | дублирование + исключение | ECC | ECC | ECC | нет кэша |
| Теги D-кэша второго уровня | дублирование + исключение | ECC | четность | дублирование | нет кэша |
| Примечание: повтор - автоматическое повторение операции; исключение - при неисправности отключение микропроцессора без перезагрузки; четность - контроль по четности. |
