Бытовая микроволновая печь, доработанная в Корнелльском университете, помогает в изготовлении интегральных схем нового поколения. Исследование позволит преодолеть препятствие, мешавшее перейти от техпроцесса на 3 нм производства к более новым. Один из этапов — легирование кремния фосфором: вещества смешивают и нагревают, чтобы атомы фосфора разместились необходимым образом. Но по мере уменьшения размера элемента традиционное нагревание не позволит изготавливать работоспособные микросхемы — кристалл кремния чрезмерно расширяется и теряет нужные свойства. Микроволновка же обеспечивает контролируемое возникновение стоячих волн, благодаря чему чрезмерного нагревания и повреждения кремния не происходит.
.jpg)
