По мере уменьшения размеров микросхем уменьшаются и размеры медных проводников, соединяющих транзисторы. Им становится все труднее выдерживать токи, необходимые для заданного уровня производительности схемы. В Массачусетском технологическом институте попытались заменить медь углеродными нанотрубками. Проблема заключается в том, что при изготовлении нанотрубок необходима высокая температура, а это вредно для металлических элементов микросхемы. Способ, предложенный учеными МТИ, включает в себя осаждение тантала и железа на кремниевой подложке. Затем подложка помещается на нагретую кварцевую трубку, через которую продувается этилен. При высокой температуре газ разлагается, а железо на подложке служит катализатором формирования углеродных нанотрубок. Большинство этих процессов уже давно используется в электронной промышленности, и поэтому внедрение нового метода должно обойтись не так дорого.

Исследования ученых МТИ поддержала корпорация Intel. Впрочем, переход промышленности от меди к нанотрубкам займет, по оценкам аналитиков, еще не менее 15 лет.

Поделитесь материалом с коллегами и друзьями