Ученые Национального института стандартов и технологий США сумели с большой точностью выяснить требуемое: на границах облученных участков проявитель проникает на несколько нм в незасвеченный резист; этот "интерфейсный" регион немного набухает, а после высыхания сжимается. Выяснилось, что величина набухания при этом такова, что в итоге границы между засвеченными и незасвеченными регионами могут оказаться слишком грубыми. Однако благодаря проведенным измерениям ученые сумеют изменить состав резиста таким образом, чтобы обеспечить оптимальную степень набухания.

Поделитесь материалом с коллегами и друзьями