Воспользовавшись лазерным атомным зондом LEAP 3000X производства компании Imago Scientific Instruments, они сумели точно определить местонахождение и характер расположения атомов легирующей примеси вблизи дефектов в кремниевом кристалле. Ранее для этих целей применялась вторично-ионная масс-спектрометрия и трансмиссионные электронные микроскопы, но с помощью данных методов координаты атомов примеси можно было установить лишь косвенно и неточно. Новый способ поможет оптимизировать меры коррекции неравномерного распределения примесей при изготовлении кремниевых кристаллов. (На иллюстрации: распределение атомов, выявленное с помощью зонда Imago).

Поделитесь материалом с коллегами и друзьями