Оказывается, для технологии 0,18 мкм степень очистки воздуха, которую дают существующие в производственных цехах фильтры, явно недостаточна - мельчайшие органические частицы снижают процент выхода годных чипов. Компания Extraction Systems Inc. разработала новую технологию фильтрации воздуха Profile AT, пригодную для технологических процессов с размерами элементов вплоть до 0,157 мкм. Суть технологии заключается в применении в фильтре специального абсорбирующего полимера. Продажи фильтров на основе технологии Profile AT начнутся в октябре 2000 года.

Поделитесь материалом с коллегами и друзьями