Ученые изготовили шаблон из кварца и приложили к кремниевой основе будущей микросхемы. После кратковременного облучения так называемым эксимерным лазером сквозь прозрачный кварц поверхность кремния расплавилась и приняла форму шаблона. Особенность подобного лазера в том, что он позволяет нагревать лишь тонкий поверхностный слой материала, не нарушая его внутренней структуры. Таким способом ученым удалось сформировать на кристалле кремния простейшие элементы микросхемы с топологическим размером 10 нм. Метод позволяет отказаться от дорогостоящего и отнимающего много времени процесса литографии.

Поделитесь материалом с коллегами и друзьями