и создания 2D- и 3D-структур методами электронной литографии на базе растровых электронных микроскопов. Новая версия продукта может работать практически со всеми типами растровых электронных микроскопов и с установками, использующими фокусированный ионный пучок. Первые версии выходили под именем Proxy и распространялись фирмой Raith Gmbh. Они были выполнены для MS DOS, а впоследствии выпускались и как 16-разрядные Windows-приложения. Настоящая версия NanoMaker выпускается как 32-разрядное приложение и предназначена для работы в среде Windows 9x, NT, 2000 и XP. NanoMaker имеет опыт внедрения и эксплуатации на микроскопах JEOL JSM-840, BS-300, Phillips SEM 525, на комплексах ZRM-12, ZRM-20, а также на ионных литографах с фокусированным пучком. Новая версия продукта включает такие функции, как коррекция эффекта близости для плоских и трехмерных структур, моделирование эффекта близости и проявления резиста, компенсация статических искажений отклоняющей системы ("компенсация дисторсии"), измерение и активное подавление динамических ошибок отклоняющей системы пучка.

Поделитесь материалом с коллегами и друзьями