за счет преломляющих свойств воды можно будет создавать элементы, имеющие топологический размер 45 нм. Вода оказалась идеальной жидкостью для иммерсионной литографии благодаря тому, что она не вступает в реакцию с веществами, применяемыми в полупроводниковом производстве, а также в связи с тем, что ее способность к преломлению достигает пика именно на тех длинах волн, которые имеют используемые лазеры. Преодолев трудности, связанные, в частности, с очисткой воды можно было бы перейти на выпуск микросхем следующего поколения без традиционных для такого перехода крупных расходов на обновление литографического оборудования.

Поделитесь материалом с коллегами и друзьями