Новая версия может работать практически со всеми типами растровых электронных микроскопов и с установками, использующими фокусированный ионный пучок. В числе новых функций: коррекция эффекта близости для плоских и трехмерных структур; моделирование эффекта близости и проявления резиста; компенсация статических искажений отклоняющей системы; измерение и активное подавление динамических ошибок отклоняющей системы пучка.

Поделитесь материалом с коллегами и друзьями