Эта модель процессора отличается пониженным энергопотреблением, высокой надежностью и низкой задержкой при обращении к памяти. В ней применено сочетание медной проводки и технологии, называемой low-K dielectric, что позволяет снизить взаимные помехи между проводниками, а следовательно, снизить потребление питания и повысить производительность. UltraSPARC III, изготавливаемый по технологии 0,15 мк, содержит 29 млн. транзисторов.