Год ввода в серию199719992001200320052007¹2009¹2011¹
Техпроцесс, нм2501801309065453222
Ширина канала затвора, нм20013070503525н/дн/д
Диаметр пластины, мм200200200 и 300300300300300300
Материал межсоединенийAlAlCuCu CuCuCuн/д
Материал каналаSiSiSiнапр. Siнапр. Siнапр. Siнапр. Siнапр. Si
Материал диэлектрика затвораSiO2SiO2SiO2SiO2SiO2High-kHigh-kHigh-k
Материал затвораSiSiSiSiSiМеталлМеталлМеталл

¹ Предварительные данные.
Примечание. Si — кремний; SiO2 — оксид кремния; High-k — материал с высоким диэлектрическим сопротивлением (состав официально не объявлен).

428