Национальная физическая лаборатория Великобритании (NPL) выбрала программный продукт NanoMaker для установки на микроскопе Hitachi S-4000 SEM, что позволило использовать его как литографическую систему. NanoMaker разработан компанией Interface (www.intrface.ru) и по своим характеристикам превосходит зарубежные аналоги. Этот программно-аппаратный комплекс предоставляет пользователю удобный графический интерфейс при проектировании и создании структур, возможность проведения необходимого моделирования и многое другое. Графический редактор позволяет работать с простыми и сложными базовыми геометрическими объектами, в том числе с зонными пластинами и текстами. Имеется функция задания текущего времени, а также доступна справочная информация по известным материалам, применяемым для изготовления резиста и подложки. Система на базе программы NanoMaker способна работать с изображениями во многих форматах, например, .dfx, .csf, .gds, .tif, .bmp. Разработчик эту программу выпускает как 32-разрядное приложение для ОС Windows 9x/NT/2000 и XP, с учетом широкой номенклатуры микроскопов, комплексов и ионных литографов с фокусируемым пучком. На практике это дает возможность использовать растровые электронные микроскопы как литографы и, кроме того, расширять функции и улучшать характеристики промышленных литографических установок.

545