В Массачусетском технологическом институте попытались заменить медь углеродными нанотрубками. Проблема заключается в том, что при изготовлении нанотрубок необходима высокая температура, а это вредно для металлических элементов микросхемы. Способ, предложенный учеными МТИ, включает в себя осаждение тантала и железа на кремниевой подложке. Затем подложка помещается на нагретую кварцевую трубку, через которую продувается этилен. При высокой температуре газ разлагается, а железо на подложке служит катализатором формирования углеродных нанотрубок.

Поделитесь материалом с коллегами и друзьями

Купить номер с этой статьей в PDF