При уменьшении размеров элементов масок точно управлять движением электронов становится все труднее, что приводит к искажению образцов. В методе, над которым работают в МТИ, маски не нужны. Для печати микросхем применяется матрица из зонных пластинок Френеля, а освещением пластинок управляют микромеханические элементы под контролем компьютера. Это существенно удешевляет производство и позволяет быстро вносить изменения в конструкцию микросхемы. Теоретически с помощью такого метода размер элементов можно довести до одной молекулы (2-3 нм).

Поделитесь материалом с коллегами и друзьями

Купить номер с этой статьей в PDF