Один из этапов подготовки кремниевой основы к формированию на ней микросхем состоит в шлифовке ее поверхности до почти идеальной гладкости: неоднородности не должны превышать нескольких нанометров. До сих пор процедура шлифовки подразумевала последующее определение степени гладкости специальными приборами, и при выявлении дефектов полировку приходилось повторять, что отнимало много времени. В Институте управления и автоматизации производства им. Фраунгофера разработан шлифовальный инструмент нового типа, способный с помощью пьезодатчиков непрерывно контролировать давление на кремниевую основу в процессе обработки. При обнаружении неровности она автоматически удаляется, что позволяет провести всю обработку за один проход. (На фото: шлифовальный инструмент с пьезодатчиками.)

Поделитесь материалом с коллегами и друзьями