Формирование бороздок на кристаллах микросхем . Ученые Принстонского университета, изучая нестабильности в расплавленных полимерах, случайно натолкнулись на особенность, которая, возможно, будет положена в основу принципиально нового вида литографии. Если нанести на твердую пластину (например, кремниевую основу) полимерную пленку, затем положить сверху вторую пластину, нагреть конструкцию до склеивания, а потом аккуратно разнять половины, то на каждой из них образуются бороздки, расположенные через равные промежутки ширины, строго вчетверо большей, чем составляла первоначальная толщина пленки. Исследователи продемонстрировали возможность формирования таким способом бороздок, отстоящих друг от друга на 60 нм, на пластинах площадью до 2 см2

Поделитесь материалом с коллегами и друзьями