Команда исследователей из университета Саутгэмптона нашла способ рационализировать процесс изготовления микросхем, состоящих из многослойных кристаллов. Одной из наиболее трудных задач в таком производстве является совмещение кремниевых основ, для чего до сих пор применялась дорогостоящая и громоздкая оптическая аппаратура, не исключающая ошибок. Исследователи заявили о разработке пассивного метода совмещения, обеспечивающего точность на уровне 200 нм. По их словам, новая система позволяет выравнивать основы подобно блокам конструктора Lego — пластины фиксируются друг относительно друга с помощью формируемых на них шипов и углублений. Процесс происходит в полностью автоматическом режиме

Поделитесь материалом с коллегами и друзьями