Специалисты Национального института стандартов и технологий США и Университета Колорадо в Боулдере разработали микроскоп для исследования микросхем и других наноструктур, объединяющий преимущества оптического и электронного. Прибор позволяет изучать физические качества микроструктур и обладает высокой чувствительностью к электронам малых энергий, испускаемых обследуемым материалом при освещении его лазерными вспышками. Сканирующе-фотоионизационный микроскоп позволит выполнять съемку структур микросхем с высоким разрешением, а его электронная часть — идентифицировать химические соединения и даже индивидуальные элементы, составляющие такие структуры.

Поделитесь материалом с коллегами и друзьями