Инновационные технологии производства

Компания AMD представила новые технологии и систему управления производством микропроцессорами

Новый завод AMD Fab 36 в Дрездене, Германия

В условиях резкого обострения конкурентной борьбы деятельность в сфере производства электронных компонентов предъявляет исключительно высокие требования к его гибкости и экономической эффективности цепочек поставок компонентов. Для того чтобы удовлетворять этим условиям, компания AMD разработала автоматизированную систему управления, которая обеспечивает точную настройку технологических процессов и быструю реакцию на изменяющиеся условия и требования клиентов. Система, в которой используется более 450 уникальных технологических решений, получила название «автоматизированное высокоточное производство» (Automated Precision Manufacturing, APM). Она состоит из пяти подсистем: оптимизация загрузки оборудования, планирования производительности изделий, управления технологическими процессами, интегрированного планирования производства и контроля качества продукции.

Как сообщил на конференции «Инновационные технологии производства» Томас Зондерман, директор AMD по автоматизации высокоточного производства, с помощью этой системы инженеры получили возможность анализировать характеристики опытных и промышленных изделий и непрерывно совершенствовать технологические процессы. Производство стало настолько гибким, что новые технологии запускаются и отлаживаются в полностью автоматизированном режиме параллельно с основным производством. На одном предприятии, на одном и том же оборудовании выпускаются разные типы процессоров с различной тактовой частотой, причем параллельно обрабатываются и кремниевые пластины для опытных образцов перспективной продукции, и подложки для серийных изделий.

Интегрированная инфраструктура информационных и управляющих магистралей APM связывает сотни единиц технологического оборудования, образуя своего рода «центральную нервную систему» предприятия. Информация, поступающая от датчиков и программных агентов, непрерывно анализируется в реальном масштабе времени и сопоставляется с плановыми показателями, благодаря чему удается отслеживать текущее состояние изготавливаемых микропроцессоров и при необходимости оптимизировать технологические маршруты и автоматически корректировать параметры процессов и оборудования. Это дает снижение процента брака и соответствие каждой партии и каждого изделия целевым спецификациям.

Реализованные в APM методы анализа и принятия решений обеспечивают точность и автоматическую настройку технологических процессов на субмикронном уровне. Появилась возможность ежеквартально вносить изменения микросхемы на уровне транзисторов и «пошагово» улучшать характеристики продукции. При этом значительно сократилось время доводки новых технологий до достижения заданного уровня выхода годных изделий. Становится возможным оперативно изменять характеристики изготавливаемых в данный момент микропроцессоров, исходя из складывающейся производственной обстановки.

Система обладает способностью анализировать и прогнозировать развитие ситуации и инициировать соответствующие упреждающие воздействия. Для выявления потенциальных дефектов применяется технология автоматического слежения за состоянием кремниевых пластин в процессе обработки. При необходимости программа обработки динамически корректируется, поэтому, если обнаруживается, что для данного изделия вероятен дефект, его характеристики (тактовая частота, напряжение) могут быть «понижены».

Последняя, третья версия системы APM внедрена на заводе AMD Fab 36 в Дрездене, который в марте нынешнего года приступил к поставкам 64-разрядных процессоров. Промышленное производство на базе 300-мм кремниевых пластин по 90-нанометровому процессу было развернуто в довольно короткие сроки.

Удо Нотелфер, заместитель директора завода, сообщил, что наряду с серийным производством на основе технологических процессов с проектной нормой 90 нм выпускаются и опытные образцы 65-нанометровых процессоров. Начало их коммерческих поставок запланировано на вторую половину этого года, а перевод основного производства на 65-нанометровый процесс — на середину 2007 года.