Установка была произведена на микроскопе Hitachi S-4000 SEM с целью преобразования существующего микроскопа в литографическую систему. Данный программно-аппаратный комплекс предоставляет пользователю осуществлять моделирование процессов, учитывать коррекцию эффекта близости для плоских и трехмерных структур, рассчитывать компенсацию статических искажений отклоняющей системы и т.д.

Поделитесь материалом с коллегами и друзьями