предприятий по выпуску MEMS-устройств, несколько сотен начинающих, а также множество научных учреждений, ведущих исследования в данной области. Как отмечают аналитики, часть стандартного оборудования производства микросхем в отдельных случаях можно без модификации применять и для выпуска MEMS-систем.

Поделитесь материалом с коллегами и друзьями