В IBM идет разработка микросхем дуплескных фильтров для устройств беспроводной связи. Занимающие много места и потребляющие много электроэнергии пассивные компоненты, какими являются дуплексные фильтры на резонаторах, в корпорации решили заменить микроэлектромеханическими системами, размеры которых значительно меньше, а энергопотребление — ничтожно мало. Добиться низкой себестоимости MEMS-устройств удалось благодаря процессу изготовления, использующему обычные для производства интегральных схем материалы и методики.