«Computerworld Россия» , № 15, 2004 41 прочтение
Просто добавь воды
В Рочестерском технологическом институте считают, что усовершенствовать ныне применяемый метод изготовления микросхем поможет одно из самых распространенных на Земле веществ: вода. Погрузив в нее кремниевую основу в процессе вытравливания схемы за счет преломляющих свойств воды можно будет создавать элементы, имеющие топологический размер 45 нм. Вода оказалась идеальной жидкостью для иммерсионной литографии благодаря тому, что она не вступает в реакцию с веществами, применяемыми в полупроводниковом производстве, а также в связи с тем, что ее способность к преломлению достигает пика именно на тех длинах волн, которые имеют используемые лазеры. Преодолев трудности, связанные, в частности, с очисткой воды можно было бы перейти на выпуск микросхем следующего поколения без традиционных для такого перехода крупных расходов на обновление литографического оборудования.
